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            • CAT-O3-F采用催化剂技术,把臭氧分解成氧气,可出处理流量高达20SLPM。
            • 美国Teledy API (IN USA)公司生产的Opti-Sense 7000是一款采用先进的NDIR技术的仪器,可用来监测通常在低压环境下的CO2浓度。
            • 美国Teledy API (IN USA)公司生产的Opti-Sense 5000是一款采用先进的NDIR技术的仪器,可用来监测通常在低压环境下的SiF4浓度。
            • CAT-O3-E采用催化剂技术,把臭氧分解成氧气,可出处理流量高达20SLPM。
            • IN USA系列是Teledyne API的一个品牌,OG-5000系列臭氧发生器设计用于生产超洁净,高纯度和高浓度的臭氧气体,非常适合各种半导体工艺应用。
            • ODS
              ODS系列是一款臭氧气体输送系统,可根据需要提供高纯度臭氧气体,非常适合要求最严格的半导体湿法或干式晶圆处理应用